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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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生于北遇于南

超级版主

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[求助] 观察薄膜截面怎么制样 已有2人参与

在硅片上沉积的薄膜,怎么来看薄膜的截面

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冉冉CQ

主管区长

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


用硅刀沿着硅片晶向方向点开硅片,直接拍截面

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10楼2018-07-11 14:30:38
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云芽海叶

实习版主

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2楼2018-06-29 00:58:34
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PBBT

管理员

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


你沉积的什么膜,厚度多少

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3楼2018-06-29 08:35:22
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水清浅snow

版主

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【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用聚焦离子束加工技术(FIB)或者用传统制样方法(用砂纸研磨+离子减薄仪)
4楼2018-06-29 15:31:43
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