[交流] 请问有没有磁控溅射石墨靶的同学呀 已有2人参与

我最近在用磁控溅射做石墨靶，功率50w,氩气气氛，1 PA, 直流溅射，但是得到的薄膜是不到点的状态，谁来救救孩子呀

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