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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 跨学科应用 » 请问有没有磁控溅射石墨靶的同学呀
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新虫 (初入文坛)

[交流] 请问有没有磁控溅射石墨靶的同学呀 已有2人参与

我最近在用磁控溅射做石墨靶，功率50w,氩气气氛，1 PA, 直流溅射，但是得到的薄膜是不到点的状态，谁来救救孩子呀
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1楼 2018-06-19 20:30:39
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拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我也是做的这个，可能是功率不够，薄膜致密性不好
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3楼2018-09-19 16:08:07
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yanda

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
感觉你的真空度还可以再低一点
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2楼2018-06-27 16:55:50
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