应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » 磁控溅射设备真空度抽到9乘以10的-4后，真空度降低是怎么回事？
91/1返回列表
查看: 1847  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

霸天虎123

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射设备真空度抽到9乘以10的-4后，真空度降低是怎么回事？ 已有1人参与

求解答，各位前辈！

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射镀膜工艺

» 猜你喜欢
1楼 2018-06-17 22:49:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yexyz

金虫 (正式写手)
设备漏气？

发自小木虫Android客户端
回复此楼
2楼2018-06-17 23:55:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhm_list

木虫 (著名写手)
漏气呗

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
3楼2018-06-18 00:56:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

juhongbo

新虫 (著名写手)
漏气

发自小木虫Android客户端
回复此楼
4楼2018-06-18 10:01:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

霸天虎123

铜虫 (小有名气)
怎么解决啊，换密封圈，我换了几条都不行，不知道什么原因？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2018-06-18 11:09:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
最好描述再详细一些（漏速、降到什么程度，会不会回复）。

真空度降低的可能主要有两点，一个是漏气，一个是材料放气。

漏气一般是密封件，密封圈或者轴封位置，多关注动件部分比如阀门腔门，另也关注下阴极会不会渗水啥的。
材料放气，吸附气体或者水分，这个一般可以通过烘烤或隔夜保真空解决。
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

霸天虎123 霸天虎123
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
6楼2018-06-19 18:31:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

霸天虎123

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-19 18:31:10
最好描述再详细一些（漏速、降到什么程度，会不会回复）。

真空度降低的可能主要有两点，一个是漏气，一个是材料放气。

漏气一般是密封件，密封圈或者轴封位置，多关注动件部分比如阀门腔门，另也关注下阴极会 ...

谢谢前辈

发自小木虫Android客户端
回复此楼
7楼2018-06-26 09:29:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

霸天虎123

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-19 18:31:10
最好描述再详细一些（漏速、降到什么程度，会不会回复）。

真空度降低的可能主要有两点，一个是漏气，一个是材料放气。

漏气一般是密封件，密封圈或者轴封位置，多关注动件部分比如阀门腔门，另也关注下阴极会 ...

有时候会回复

发自小木虫Android客户端
回复此楼
8楼2018-06-26 09:30:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

霸天虎123

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-19 18:31:10
最好描述再详细一些（漏速、降到什么程度，会不会回复）。

真空度降低的可能主要有两点，一个是漏气，一个是材料放气。

漏气一般是密封件，密封圈或者轴封位置，多关注动件部分比如阀门腔门，另也关注下阴极会 ...

是什么原因？

发自小木虫Android客户端
回复此楼
9楼2018-06-26 09:30:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 霸天虎123 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭