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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

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[求助] 磁控溅射设备真空度抽到9乘以10的-4后，真空度降低是怎么回事？已有1人参与

求解答，各位前辈！

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磁控溅射镀膜工艺

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1楼 2018-06-17 22:49:54

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yexyz

金虫 (正式写手)

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设备漏气？

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2楼2018-06-17 23:55:44

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zhm_list

木虫 (著名写手)

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漏气呗

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3楼2018-06-18 00:56:41

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juhongbo

新虫 (著名写手)

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专业: 金属材料表面科学与工程

漏气

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4楼2018-06-18 10:01:04

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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

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怎么解决啊，换密封圈，我换了几条都不行，不知道什么原因？

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5楼2018-06-18 11:09:27

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野人禾禾

金虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

最好描述再详细一些（漏速、降到什么程度，会不会回复）。

真空度降低的可能主要有两点，一个是漏气，一个是材料放气。

漏气一般是密封件，密封圈或者轴封位置，多关注动件部分比如阀门腔门，另也关注下阴极会不会渗水啥的。
材料放气，吸附气体或者水分，这个一般可以通过烘烤或隔夜保真空解决。

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霸天虎123

擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119

6楼2018-06-19 18:31:10

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霸天虎123

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送红花一朵

引用回帖:

6楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-19 18:31:10
最好描述再详细一些（漏速、降到什么程度，会不会回复）。

真空度降低的可能主要有两点，一个是漏气，一个是材料放气。

漏气一般是密封件，密封圈或者轴封位置，多关注动件部分比如阀门腔门，另也关注下阴极会 ...

谢谢前辈

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7楼2018-06-26 09:29:45

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