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磁控溅射设备真空度抽到9乘以10的-4后，真空度降低是怎么回事？
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霸天虎123
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磁控溅射设备真空度抽到9乘以10的-4后，真空度降低是怎么回事？
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求解答，各位前辈！
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2018-06-17 22:49:54
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设备漏气？
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2018-06-18 00:56:41
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怎么解决啊，换密封圈，我换了几条都不行，不知道什么原因？
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5楼
2018-06-18 11:09:27
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【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
最好描述再详细一些（漏速、降到什么程度，会不会回复）。
真空度降低的可能主要有两点，一个是漏气，一个是材料放气。
漏气一般是密封件，密封圈或者轴封位置，多关注动件部分比如阀门腔门，另也关注下阴极会不会渗水啥的。
材料放气，吸附气体或者水分，这个一般可以通过烘烤或隔夜保真空解决。
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霸天虎123
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
6楼
2018-06-19 18:31:10
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野人禾禾
at 2018-06-19 18:31:10
最好描述再详细一些（漏速、降到什么程度，会不会回复）。
真空度降低的可能主要有两点，一个是漏气，一个是材料放气。
漏气一般是密封件，密封圈或者轴封位置，多关注动件部分比如阀门腔门，另也关注下阴极会 ...
谢谢前辈
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7楼
2018-06-26 09:29:45
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野人禾禾
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最好描述再详细一些（漏速、降到什么程度，会不会回复）。
真空度降低的可能主要有两点，一个是漏气，一个是材料放气。
漏气一般是密封件，密封圈或者轴封位置，多关注动件部分比如阀门腔门，另也关注下阴极会 ...
有时候会回复
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8楼
2018-06-26 09:30:12
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6楼
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野人禾禾
at 2018-06-19 18:31:10
最好描述再详细一些（漏速、降到什么程度，会不会回复）。
真空度降低的可能主要有两点，一个是漏气，一个是材料放气。
漏气一般是密封件，密封圈或者轴封位置，多关注动件部分比如阀门腔门，另也关注下阴极会 ...
是什么原因？
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9楼
2018-06-26 09:30:32
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