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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射设备真空度抽到9乘以10的-4后,真空度降低是怎么回事? 已有1人参与

求解答,各位前辈!

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yexyz

金虫 (正式写手)

2楼2018-06-17 23:55:44
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zhm_list

木虫 (著名写手)

3楼2018-06-18 00:56:41
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juhongbo

新虫 (著名写手)

4楼2018-06-18 10:01:04
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

怎么解决啊,换密封圈,我换了几条都不行,不知道什么原因?

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5楼2018-06-18 11:09:27
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
最好描述再详细一些(漏速、降到什么程度,会不会回复)。

真空度降低的可能主要有两点,一个是漏气,一个是材料放气。

漏气一般是密封件,密封圈或者轴封位置,多关注动件部分比如阀门腔门,另也关注下阴极会不会渗水啥的。
材料放气,吸附气体或者水分,这个一般可以通过烘烤或隔夜保真空解决。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
6楼2018-06-19 18:31:10
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-19 18:31:10
最好描述再详细一些(漏速、降到什么程度,会不会回复)。

真空度降低的可能主要有两点,一个是漏气,一个是材料放气。

漏气一般是密封件,密封圈或者轴封位置,多关注动件部分比如阀门腔门,另也关注下阴极会 ...

谢谢前辈

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7楼2018-06-26 09:29:45
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-19 18:31:10
最好描述再详细一些(漏速、降到什么程度,会不会回复)。

真空度降低的可能主要有两点,一个是漏气,一个是材料放气。

漏气一般是密封件,密封圈或者轴封位置,多关注动件部分比如阀门腔门,另也关注下阴极会 ...

有时候会回复

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8楼2018-06-26 09:30:12
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-19 18:31:10
最好描述再详细一些(漏速、降到什么程度,会不会回复)。

真空度降低的可能主要有两点,一个是漏气,一个是材料放气。

漏气一般是密封件,密封圈或者轴封位置,多关注动件部分比如阀门腔门,另也关注下阴极会 ...

是什么原因?

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9楼2018-06-26 09:30:32
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