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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » 磁控溅射设备真空度抽到9乘以10的-4后，真空度降低是怎么回事？
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射设备真空度抽到9乘以10的-4后，真空度降低是怎么回事？已有1人参与

求解答，各位前辈！

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磁控溅射镀膜工艺

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1楼2018-06-17 22:49:54
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yexyz

金虫 (正式写手)
设备漏气？

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2楼2018-06-17 23:55:44
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zhm_list

木虫 (著名写手)
漏气呗

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3楼2018-06-18 00:56:41
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juhongbo

新虫 (著名写手)
漏气

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4楼2018-06-18 10:01:04
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)
怎么解决啊，换密封圈，我换了几条都不行，不知道什么原因？

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5楼2018-06-18 11:09:27
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
最好描述再详细一些（漏速、降到什么程度，会不会回复）。

真空度降低的可能主要有两点，一个是漏气，一个是材料放气。

漏气一般是密封件，密封圈或者轴封位置，多关注动件部分比如阀门腔门，另也关注下阴极会不会渗水啥的。
材料放气，吸附气体或者水分，这个一般可以通过烘烤或隔夜保真空解决。
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霸天虎123 霸天虎123
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
6楼2018-06-19 18:31:10
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)
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引用回帖:
6楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-19 18:31:10
最好描述再详细一些（漏速、降到什么程度，会不会回复）。

真空度降低的可能主要有两点，一个是漏气，一个是材料放气。

漏气一般是密封件，密封圈或者轴封位置，多关注动件部分比如阀门腔门，另也关注下阴极会 ...

谢谢前辈

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7楼2018-06-26 09:29:45
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-19 18:31:10
最好描述再详细一些（漏速、降到什么程度，会不会回复）。

真空度降低的可能主要有两点，一个是漏气，一个是材料放气。

漏气一般是密封件，密封圈或者轴封位置，多关注动件部分比如阀门腔门，另也关注下阴极会 ...

有时候会回复

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8楼2018-06-26 09:30:12
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-19 18:31:10
最好描述再详细一些（漏速、降到什么程度，会不会回复）。

真空度降低的可能主要有两点，一个是漏气，一个是材料放气。

漏气一般是密封件，密封圈或者轴封位置，多关注动件部分比如阀门腔门，另也关注下阴极会 ...

是什么原因？

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9楼2018-06-26 09:30:32
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