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材料大白菜新虫 (小有名气)
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二氧化钛薄膜热处理之后的检测问题
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| 在基体上通过原子层沉积做了30nm厚的二氧化钛，拉曼检测为锐钛矿结构，在600度热处理之后，没有转变为金红石，锐钛矿的峰还检测不到了。采用的是真空封管的热处理，会不会在这个过程中发生了分解？通过氧化层的颜色来看，热处理之后确实变薄了 |
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2楼2018-06-06 16:21:02