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材料大白菜

新虫 (小有名气)

[交流] 二氧化钛薄膜热处理之后的检测问题

在基体上通过原子层沉积做了30nm厚的二氧化钛,拉曼检测为锐钛矿结构,在600度热处理之后,没有转变为金红石,锐钛矿的峰还检测不到了。采用的是真空封管的热处理,会不会在这个过程中发生了分解?通过氧化层的颜色来看,热处理之后确实变薄了
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材料大白菜

新虫 (小有名气)

有了解的吗?看了很多文献 没有这方面的情况

发自小木虫Android客户端
2楼2018-06-06 16:21:02
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