应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 关于磁控溅射氧化物薄膜的制备方法，如二氧化硅
101/1返回列表
查看: 1467  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

kammury

木虫 (著名写手)

吃瓜美猴王

[交流] 关于磁控溅射氧化物薄膜的制备方法，如二氧化硅

目前了解到使用磁控制备氧化物薄膜大多采用的是射频磁控溅射。
想了解一下除rfMS之外，还有没有其它的溅射方法。
不知道kHz的脉冲直流是否可行？
希望懂的人来交流一下。
回复此楼

» 猜你喜欢
Tigers.in.the.Mud.
1楼 2018-06-05 16:46:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

091820053

禁虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
2楼2018-06-05 19:34:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kammury

木虫 (著名写手)

吃瓜美猴王
引用回帖:
2楼: Originally posted by 091820053 at 2018-06-05 19:34:07
氧化物部分可以直流

直流的话，那应该需要导电的金属靶材，在含氧气氛下溅射。
像硅这样的貌似不太合适；
溅射不导电氧化物靶材不知道您了不了解？
赞一下 回复此楼
Tigers.in.the.Mud.
3楼2018-06-06 09:06:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

091820053

禁虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
4楼2018-06-06 09:41:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖仅楼主可见
赞一下
5楼2018-06-11 18:54:51
已阅   申请MEPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

野人禾禾

金虫 (正式写手)
看你是氧化硅靶，还是硅靶？
氧化硅靶确实rf好一点，另工业上也可用中频。
硅靶，脉冲和中频都可以。
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
6楼2018-06-13 18:51:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

williamsh

新虫 (小有名气)
只有rf可以

发自小木虫Android客户端
回复此楼
7楼2018-06-13 21:33:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huhu 3567

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
8楼2019-04-29 14:04:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wanghua888

禁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
9楼2019-05-06 23:06:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1576594511

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-06-13 18:51:42
看你是氧化硅靶，还是硅靶？
氧化硅靶确实rf好一点，另工业上也可用中频。
硅靶，脉冲和中频都可以。

用二氧化硅一直无法启辉是怎么回事

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
10楼2019-11-14 23:33:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 kammury 的主题更新
101/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭