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kammury木虫 (著名写手)
吃瓜美猴王
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[交流]
关于磁控溅射氧化物薄膜的制备方法，如二氧化硅
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目前了解到使用磁控制备氧化物薄膜大多采用的是射频磁控溅射。 想了解一下除rfMS之外，还有没有其它的溅射方法。 不知道kHz的脉冲直流是否可行？ 希望懂的人来交流一下。 |
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8楼2019-04-29 14:04:25
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2楼2018-06-05 19:34:07
kammury
木虫 (著名写手)
吃瓜美猴王
- 应助: 11 (小学生)
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- 虫号: 1161391
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- 专业: 等离子体物理
3楼2018-06-06 09:06:36
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4楼2018-06-06 09:41:01