| 查看: 1456 | 回复: 5 | |||
[交流]
PDMS上做光刻和溅射 已有2人参与
|
| 求助各位，本人想做PDMS（道康宁184）上光刻和溅射金属，目前做完光刻，但是表面出现一些小裂纹，并且没有办法做溅射，真空度降不下去，怎么回事？另外，一般在PDMS上溅射金属都用什么哇（只想用作导电）。 |
回复此楼
carefu
荣誉版主 (著名写手)
- 应助: 280 (大学生)
- 贵宾: 0.068
- 金币: 7582.8
- 散金: 2031
- 红花: 127
- 帖子: 1865
- 在线: 936.2小时
- 虫号: 2738740
- 注册: 2013-10-20
- 性别: GG
- 专业: 敏感电子学与传感器
- 管辖: 论文投稿
2楼2018-05-17 10:26:20
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
3楼2018-05-17 17:33:14
4楼2018-05-25 15:32:59
carefu
荣誉版主 (著名写手)
- 应助: 280 (大学生)
- 贵宾: 0.068
- 金币: 7582.8
- 散金: 2031
- 红花: 127
- 帖子: 1865
- 在线: 936.2小时
- 虫号: 2738740
- 注册: 2013-10-20
- 性别: GG
- 专业: 敏感电子学与传感器
- 管辖: 论文投稿
5楼2018-05-25 15:34:36
6楼2018-05-26 20:21:30
