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PDMS上做光刻和溅射 已有2人参与
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| 求助各位,本人想做PDMS(道康宁184)上光刻和溅射金属,目前做完光刻,但是表面出现一些小裂纹,并且没有办法做溅射,真空度降不下去,怎么回事?另外,一般在PDMS上溅射金属都用什么哇(只想用作导电)。 |
carefu
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2楼2018-05-17 10:26:20
yswyx
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3楼2018-05-17 17:33:14
4楼2018-05-25 15:32:59
carefu
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5楼2018-05-25 15:34:36
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