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jiaqianq

新虫 (初入文坛)

[交流] PDMS上做光刻和溅射 已有2人参与

求助各位,本人想做PDMS(道康宁184)上光刻和溅射金属,目前做完光刻,但是表面出现一些小裂纹,并且没有办法做溅射,真空度降不下去,怎么回事?另外,一般在PDMS上溅射金属都用什么哇(只想用作导电)。
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carefu

荣誉版主 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by jiaqianq at 2018-05-25 15:32:59
请问如果进行了表面处理(比如等离子体),直接镀金可以吗?是不是粘附性也不好?...

我们试过,效果不好,非常容易断路
5楼2018-05-25 15:34:36
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carefu

荣誉版主 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
PDMS上镀一薄层钛,然后再镀其它金属。不过我做着也不太好,柔性太大,揉几次就不导电了,金属层全是裂纹
2楼2018-05-17 10:26:20
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
PDMS固化不好吧,一抽真空就放气。
而且PDMS比较容易吸潮,孔隙很大的,溅射前烘一下试试。
3楼2018-05-17 17:33:14
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jiaqianq

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by carefu at 2018-05-17 10:26:20
PDMS上镀一薄层钛,然后再镀其它金属。不过我做着也不太好,柔性太大,揉几次就不导电了,金属层全是裂纹

请问如果进行了表面处理(比如等离子体),直接镀金可以吗?是不是粘附性也不好?
4楼2018-05-25 15:32:59
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