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[交流]
【请教】用低温泵可以做氧化物或者碳化物薄膜吗？
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有没有使用低温泵的朋友？ 可不可以用低温泵做氧化物如ZrO2,碳化物如TiC薄膜？ 我知道低温泵工作环境温度很低，O2和CH4气体能影响低温泵正常工作吗？ [ Last edited by SHY31 on 2009-3-23 at 09:47 ] |
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