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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 【请教】用低温泵可以做氧化物或者碳化物薄膜吗？
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redcom

铜虫 (著名写手)

[交流] 【请教】用低温泵可以做氧化物或者碳化物薄膜吗？

有没有使用低温泵的朋友？
可不可以用低温泵做氧化物如ZrO2,碳化物如TiC薄膜？

我知道低温泵工作环境温度很低，O2和CH4气体能影响低温泵正常工作吗？

[ Last edited by SHY31 on 2009-3-23 at 09:47 ]
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1楼 2009-03-22 22:34:48
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gdalo

金虫 (小有名气)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流 3-23 09:47
你所指的低温泵是指PVD的高真空腔用的，而不是用于低温冷源用的吧。
如果前者的话氧化物没有问题，但是氧气在低温泵的叶片沉积后，有可能与其他的沉积物质发生反应（低温泵重启的时候）产生危险。
CH4没用过，应该不会影响的
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2楼2009-03-22 22:54:23
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redcom

铜虫 (著名写手)
谢谢你的回复！
你说的很对，我所说的低温泵就是用在pvd制膜时获得高真空用的。

O2或者CH4气体用的次数多了，是不是要做regeneration？
我实验室的实验员说，每做2-3次试验后，要做一次regeneration，也太频了吧。要知道，做一次regeneration，需要好长时间的。
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3楼2009-03-23 08:56:31
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gdalo

金虫 (小有名气)
是的，这两种气体都是比较危险的，积累太多了的话在regeneration的时候容易出危险的。但也看你的使用情况了，气体的用量，其他成分是什么，每次实验的实际通气时间等等的，2-3次有点频繁了，这个大概是低温泵厂家的安全建议吧
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4楼2009-03-23 09:48:54
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redcom

铜虫 (著名写手)
你说的危险，是指什么？爆炸？

CH4+N2+Ar，在低真空条件下制备薄膜，沉积温度300C，会产生爆炸吗？

让你说的，我在镀膜的时候都小心奕奕了。

从事科研不容易啊
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5楼2009-03-23 17:25:05
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redcom

铜虫 (著名写手)
请问，你说的regeneration容易出危险，能说的具体点吗？
怎样做才能最大可能减小出危险的可能性？
谢谢。
引用回帖:
Originally posted by gdalo at 2009-3-23 09:48:
是的，这两种气体都是比较危险的，积累太多了的话在regeneration的时候容易出危险的。但也看你的使用情况了，气体的用量，其他成分是什么，每次实验的实际通气时间等等的，2-3次有点频繁了，这个大概是低温泵厂家 ...

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6楼2009-03-28 17:20:02
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