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【请教】激光束外延生长设备验收应注意的问题
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各位大牛们大家好，近期我们买了一台激光外延生长设备，现在要验收 生长室了，我们应该主要注意哪些细节和环节呢？对这个一窍不通，所以 上来问问有经验的大牛们。谢谢大家了。 |
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闪闪红心(金币+3,VIP+0):认真答复，谢谢！ 4-28 13:55
ufoer(金币+2,VIP+0):!!! 7-8 12:58
闪闪红心(金币+3,VIP+0):认真答复，谢谢！ 4-28 13:55
ufoer(金币+2,VIP+0):!!! 7-8 12:58
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首先申明我不是大牛，小硕一个，实验室有一台激光外延，由于验收的时候没有经验，很多问题没有注意，导致后期实验过程中有很多问题。下面谈谈几个问题。 1.真空度，注意生长室的密封性能，尤其是接口之间，很多国产的接口密封会采用橡皮圈密封，那么就做不到高真空了，只能长长氧化物了。 2.各个气阀是否安装好，尤其是气阀的密封性（一般是金属与金属密封形式），不然后面会漏气，自己排除问题是比较麻烦的。 3.激光外延存在一定的技术问题，即激光进入的窗口一般会随溅射生长的同时长上薄膜，影响激光进来的强度，总而似的实验参数不标准，这个问题需要解决，不然这个生长室应该是不合格的。 4.还有就是真空度测量的元件，现在很多用电离硅，但是电离硅接触空气很容易坏。 5.还有就是换靶的合适与否，分子泵的位置等等。 其他的一些问题要看你的个别需求了。 |
2楼2009-04-28 13:41:46
3楼2009-07-07 20:04:29