应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 直流磁控溅射表面有小颗粒
51/1返回列表
查看: 2145  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

ykbingo

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射表面有小颗粒 已有1人参与

基底已经洗干净但在溅射后在原子力显微镜下发现较多的突起颗粒原因是什么？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射镀膜工艺

» 猜你喜欢
1楼 2018-04-15 16:44:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ykbingo

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 1522921847 at 2018-04-15 20:33:18
有图片么，是靶材有掉渣，还是对基底表面有损伤

溅射的薄膜上有好多黑色颗粒在显微镜下看见，大多都是突起的
赞一下 回复此楼
3楼2018-04-15 21:54:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

1522921847

新虫 (初入文坛)
有图片么，是靶材有掉渣，还是对基底表面有损伤
赞一下 回复此楼
认真学习
2楼2018-04-15 20:33:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
最好简单介绍一下工艺，比如靶材、电源、气压、基体材料等，如果有图片最好也上一下。

可能的原因可能是：
1. 腔体不干净带来的粉尘
2. 靶材不致密造成的膜层疏松、靶材杂质？
3. 电源类型不匹配导致的启弧arc
4. 如果你是反应溅射，还可能是氧化不彻底等等

你可以参考下
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
4楼2018-04-16 14:28:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

L小懒虫

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-04-16 14:28:42
最好简单介绍一下工艺，比如靶材、电源、气压、基体材料等，如果有图片最好也上一下。

可能的原因可能是：
1. 腔体不干净带来的粉尘
2. 靶材不致密造成的膜层疏松、靶材杂质？
3. 电源类型不匹配导致的启弧ar ...

你好，请问起弧arc是？

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
5楼2018-05-04 06:15:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 调剂 +6 月@163.com 2026-04-11 6/300 2026-04-11 21:46 by lwk2004
[考研] 270求调剂 +14 杨乐369 2026-04-11 14/700 2026-04-11 20:16 by 蓝云思雨
[考研] 268求调剂 +3 你好tg 2026-04-05 5/250 2026-04-11 16:45 by Delta2012
[考研] 求调剂 +13 张番茄不炒蛋 2026-04-10 14/700 2026-04-11 16:02 by vgtyfty
[考研] 求调剂 +3 胃痉挛累了 2026-04-11 5/250 2026-04-11 14:13 by luhong1990
[考研] 298求调剂 +9 钉叮咚冬瓜 2026-04-07 11/550 2026-04-11 09:35 by zhq0425
[考研] 080500求调剂 +17 黄宇博 2026-04-06 17/850 2026-04-11 08:36 by zhq0425
[考研] 一志愿211，化学学硕，310分，本科重点双非，求调剂 +17 努力奋斗112 2026-04-06 20/1000 2026-04-11 00:31 by wangjihu
[硕博家园] 0856材料化工求调剂，一志愿211，初试成绩349 +5 江淮北月 2026-04-05 5/250 2026-04-10 16:26 by 高维春
[考研] 一志愿0703化学招61最终排名62化学求调剂 +24 招61排名62 2026-04-07 28/1400 2026-04-10 16:15 by yx54321
[考研] 一志愿沪9，326生物学求相关专业调剂 +4 刘墨墨 2026-04-09 4/200 2026-04-10 12:07 by pengliang8036
[考研] 调剂 +24 不逢春 2026-04-07 25/1250 2026-04-10 09:39 by 690616278
[考研] 材料调剂 +14 一样YWY 2026-04-05 15/750 2026-04-09 13:36 by 故人??
[考研] 296求调剂 +3 汪！？！ 2026-04-08 3/150 2026-04-08 22:00 by zhouyuwinner
[考研] 考研求调剂 +4 雯??? 2026-04-08 4/200 2026-04-08 21:44 by 土木硕士招生
[考研] 材料专硕(0856) 339分求调剂 +16 哈哈哈鹅哈哈哈 2026-04-05 16/800 2026-04-08 16:02 by luoyongfeng
[考研] 304求调剂 +16 c297914 2026-04-05 17/850 2026-04-08 13:00 by grayjzr
[考研] 281求调剂 +10 椰子蘑菇 2026-04-06 10/500 2026-04-08 11:43 by zzucheup
[考研] 工科 22408 267求推荐 +4 wanwan00 2026-04-05 5/250 2026-04-06 22:47 by chenzhimin
[考研] 机械专硕274求调剂，不挑专业学校 +6 泛泛2333 2026-04-05 8/400 2026-04-06 18:06 by 泛泛2333
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭