应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 直流磁控溅射表面有小颗粒
51/1返回列表
查看: 2144  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

ykbingo

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射表面有小颗粒 已有1人参与

基底已经洗干净但在溅射后在原子力显微镜下发现较多的突起颗粒原因是什么？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射镀膜工艺

» 猜你喜欢
1楼 2018-04-15 16:44:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ykbingo

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 1522921847 at 2018-04-15 20:33:18
有图片么，是靶材有掉渣，还是对基底表面有损伤

溅射的薄膜上有好多黑色颗粒在显微镜下看见，大多都是突起的
赞一下 回复此楼
3楼2018-04-15 21:54:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

1522921847

新虫 (初入文坛)
有图片么，是靶材有掉渣，还是对基底表面有损伤
赞一下 回复此楼
认真学习
2楼2018-04-15 20:33:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
最好简单介绍一下工艺，比如靶材、电源、气压、基体材料等，如果有图片最好也上一下。

可能的原因可能是：
1. 腔体不干净带来的粉尘
2. 靶材不致密造成的膜层疏松、靶材杂质？
3. 电源类型不匹配导致的启弧arc
4. 如果你是反应溅射，还可能是氧化不彻底等等

你可以参考下
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
4楼2018-04-16 14:28:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

L小懒虫

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-04-16 14:28:42
最好简单介绍一下工艺，比如靶材、电源、气压、基体材料等，如果有图片最好也上一下。

可能的原因可能是：
1. 腔体不干净带来的粉尘
2. 靶材不致密造成的膜层疏松、靶材杂质？
3. 电源类型不匹配导致的启弧ar ...

你好，请问起弧arc是？

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
5楼2018-05-04 06:15:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 计算机22408 281分，求调剂 +7 17715607211 2026-04-06 7/350 2026-04-12 00:43 by xuxiang
[考研] 求调剂 +10 璃茉一定上岸 2026-04-10 10/500 2026-04-11 13:31 by 1005715100
[考研] 计算机11408，286分求调剂 +10 木子念晞 2026-04-05 10/500 2026-04-11 10:44 by zhq0425
[考研] 中药学调剂 初试324 +4 洋甘菊、 2026-04-10 6/300 2026-04-11 09:41 by gong120082
[考研] 289 分105500药学专硕求调剂(找B区学校) +6 白云123456789 2026-04-09 8/400 2026-04-10 21:13 by zhouxiaoyu
[考研] 本科西工大 324求调剂 +4 wysyjs25 2026-04-10 4/200 2026-04-10 20:00 by 来看流星雨10
[考研] 266求调剂 +29 阳阳哇塞 2026-04-07 29/1450 2026-04-10 16:20 by 高维春
[论文投稿] mdpi小修rvr时间四五天了 20+3 哈哈high 2026-04-08 5/250 2026-04-10 16:02 by 北京莱茵润色
[考研] 282，电气工程专业，求调剂，不挑专业 +9 jggshjkkm 2026-04-10 9/450 2026-04-10 14:55 by 逆水乘风
[考研] 机械还有还有名额吗？太难了 +6 笑笑袁 2026-04-10 6/300 2026-04-10 11:54 by 高维春
[考研] 一志愿华工085600 331分 +6 天下ww 2026-04-09 6/300 2026-04-09 18:59 by l_paradox
[考研] 材料299专硕求调剂 +10 +21 2026-04-09 10/500 2026-04-09 17:34 by 1753564080
[考研] 生物学328分求调剂 +9 闪电kkl 2026-04-08 10/500 2026-04-08 21:42 by liuhuiying09
[考研] 336求调剂，一志愿中科大 +9 墨彧 yuyu 2026-04-06 9/450 2026-04-08 11:24 by 想读书的菌菌
[考研] 计算机11408 287 求调剂 +3 LiLe5 2026-04-07 3/150 2026-04-07 23:15 by shanqishi
[考博] 博士申请 +3 IQwQl 2026-04-05 3/150 2026-04-07 20:31 by greychen00
[考研] 22408 调剂材料 +7 我叫ez 2026-04-06 8/400 2026-04-07 17:12 by 蓝云思雨
[考研] 316求调剂 +7 yyx想调剂 2026-04-05 7/350 2026-04-07 14:31 by shdgaomin
[考研] 372分材料与化工（085600）英二数二求调剂 +4 蓝笺片 2026-04-06 4/200 2026-04-07 12:30 by dongzh2009
[考研] 一志愿青科085500，初试295分，公共课213分 +3 遇到的人愿望都� 2026-04-05 3/150 2026-04-05 18:45 by 蓝云思雨
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭