应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 直流磁控溅射表面有小颗粒
51/1返回列表
查看: 2272  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

ykbingo

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射表面有小颗粒 已有1人参与

基底已经洗干净但在溅射后在原子力显微镜下发现较多的突起颗粒原因是什么？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射镀膜工艺

» 猜你喜欢
1楼 2018-04-15 16:44:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1522921847

新虫 (初入文坛)
有图片么，是靶材有掉渣，还是对基底表面有损伤
赞一下 回复此楼
认真学习
2楼2018-04-15 20:33:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ykbingo

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 1522921847 at 2018-04-15 20:33:18
有图片么，是靶材有掉渣，还是对基底表面有损伤

溅射的薄膜上有好多黑色颗粒在显微镜下看见，大多都是突起的
赞一下 回复此楼
3楼2018-04-15 21:54:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
最好简单介绍一下工艺，比如靶材、电源、气压、基体材料等，如果有图片最好也上一下。

可能的原因可能是：
1. 腔体不干净带来的粉尘
2. 靶材不致密造成的膜层疏松、靶材杂质？
3. 电源类型不匹配导致的启弧arc
4. 如果你是反应溅射，还可能是氧化不彻底等等

你可以参考下
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
4楼2018-04-16 14:28:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

L小懒虫

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-04-16 14:28:42
最好简单介绍一下工艺，比如靶材、电源、气压、基体材料等，如果有图片最好也上一下。

可能的原因可能是：
1. 腔体不干净带来的粉尘
2. 靶材不致密造成的膜层疏松、靶材杂质？
3. 电源类型不匹配导致的启弧ar ...

你好，请问起弧arc是？

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
5楼2018-05-04 06:15:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 ykbingo 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 澳大利亚 Murdoch University 全奖博士招生（3个名额）地质化工冶金领域 +67 AI8RaGaPaSCR 2026-08-07 70/3500 2026-08-14 07:15 by XFfZ89kVC80Q
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +12 医学老男孩 2026-08-13 30/1500 2026-08-14 06:02 by zyjwdhcs
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +9 majunge000 2026-08-10 12/600 2026-08-13 23:20 by iwuli
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +3 启萌科技 2026-08-12 11/550 2026-08-13 22:57 by 启萌科技
[文学芳草园] 阿姨 +4 汪汪锅 2026-08-09 4/200 2026-08-13 19:43 by arzu_hma
[基金申请] 有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验） +4 majunge000 2026-08-11 6/300 2026-08-13 16:50 by 四季常青藤
[基金申请] Filecode 又变了，巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +4 布布和一二 2026-08-11 5/250 2026-08-13 12:56 by cratir
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分？ +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[硕博家园] 读博的好处 +3 lnee 2026-08-11 3/150 2026-08-11 18:10 by 希望我好好的
[基金申请] 什么时候出结果，有咨询渠道？？？ +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[基金申请] 确定了，国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 关于代码变化问题，想知道的进来 +17 且听虎啸 2026-08-07 24/1200 2026-08-10 18:35 by zhangduo2008
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] fileCode有新解读？ +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？ +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭