应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 直流磁控溅射表面有小颗粒
51/1返回列表
查看: 2143  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

ykbingo

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射表面有小颗粒 已有1人参与

基底已经洗干净但在溅射后在原子力显微镜下发现较多的突起颗粒原因是什么？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射镀膜工艺

» 猜你喜欢
1楼 2018-04-15 16:44:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1522921847

新虫 (初入文坛)
有图片么，是靶材有掉渣，还是对基底表面有损伤
赞一下 回复此楼
认真学习
2楼2018-04-15 20:33:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ykbingo

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 1522921847 at 2018-04-15 20:33:18
有图片么，是靶材有掉渣，还是对基底表面有损伤

溅射的薄膜上有好多黑色颗粒在显微镜下看见，大多都是突起的
赞一下 回复此楼
3楼2018-04-15 21:54:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
最好简单介绍一下工艺，比如靶材、电源、气压、基体材料等，如果有图片最好也上一下。

可能的原因可能是：
1. 腔体不干净带来的粉尘
2. 靶材不致密造成的膜层疏松、靶材杂质？
3. 电源类型不匹配导致的启弧arc
4. 如果你是反应溅射，还可能是氧化不彻底等等

你可以参考下
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
4楼2018-04-16 14:28:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

L小懒虫

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-04-16 14:28:42
最好简单介绍一下工艺，比如靶材、电源、气压、基体材料等，如果有图片最好也上一下。

可能的原因可能是：
1. 腔体不干净带来的粉尘
2. 靶材不致密造成的膜层疏松、靶材杂质？
3. 电源类型不匹配导致的启弧ar ...

你好，请问起弧arc是？

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
5楼2018-05-04 06:15:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 ykbingo 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 327求调剂 +5 拾光任染 2026-04-06 5/250 2026-04-12 02:29 by 秋豆菜芽
[考研] 347求调剂 +4 mhyqyy 2026-04-06 4/200 2026-04-12 02:27 by 秋豆菜芽
[考研] 材料与化工300求调剂 +39 肖开文 2026-04-09 43/2150 2026-04-12 01:30 by 秋豆菜芽
[找工作] 山东高校教师考核超级无底线，员工过不下去啦 +4 qut2026 2026-04-09 9/450 2026-04-12 00:54 by qut2026
[考研] 305求调剂 +6 玛卡巴卡boom 2026-04-11 6/300 2026-04-11 19:00 by wutongshun
[考研] 求调剂，一志愿大连理工大学354分 +5 雨声余生 2026-04-11 6/300 2026-04-11 16:12 by 雨声余生
[考研] 283求调剂 +22 那个噜子 2026-04-09 22/1100 2026-04-11 10:41 by 逆水乘风
[考研] 生物学调剂 可调剂到生物与医药 +8 李政莹 2026-04-06 9/450 2026-04-11 10:36 by wwj2530616
[材料工程] 材料调剂推荐 +8 蛋糕x2 2026-04-07 8/400 2026-04-10 23:13 by Ftglcn90
[考研] 考研调剂 +26 硕星赴 2026-04-09 27/1350 2026-04-10 22:24 by 猪会飞
[考研] 求调剂 +11 翩翩一书生 2026-04-09 13/650 2026-04-10 10:27 by liuhuiying09
[考研] 材料调剂 +11 一样YWY 2026-04-05 11/550 2026-04-10 09:32 by 钟洲2011
[考研] 085600材料与化工301分求调剂院校 +33 刺痛jk 2026-04-06 34/1700 2026-04-09 18:31 by hy861222
[考研] 材料调剂 +10 18815505510 2026-04-09 11/550 2026-04-09 17:07 by 544594351
[考研] 求助071001调剂！！！ +7 黄守松 2026-04-05 8/400 2026-04-09 09:07 by 徐良白眉大侠
[考研] 336求调剂，一志愿中科大 +9 墨彧 yuyu 2026-04-06 9/450 2026-04-08 11:24 by 想读书的菌菌
[考研] 求调剂 +15 熊二想上岸 2026-04-06 15/750 2026-04-08 04:53 by 无际的草原
[考研] 生物医药调剂｜SCI中科院三区一作+多项科研成果 +8 likangxing 2026-04-07 11/550 2026-04-08 00:02 by lys0704
[考研] 信工所11408 340分 本科西安交大自动化 +3 moontrek 2026-04-06 3/150 2026-04-07 09:56 by chongya
[考研] 08专硕275调剂 +5 AaAa7420 2026-04-05 5/250 2026-04-05 18:01 by jkddd
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭