应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 直流磁控溅射表面有小颗粒
51/1返回列表
查看: 2140  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

ykbingo

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射表面有小颗粒 已有1人参与

基底已经洗干净但在溅射后在原子力显微镜下发现较多的突起颗粒原因是什么？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射镀膜工艺

» 猜你喜欢
1楼 2018-04-15 16:44:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1522921847

新虫 (初入文坛)
有图片么，是靶材有掉渣，还是对基底表面有损伤
赞一下 回复此楼
认真学习
2楼2018-04-15 20:33:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ykbingo

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 1522921847 at 2018-04-15 20:33:18
有图片么，是靶材有掉渣，还是对基底表面有损伤

溅射的薄膜上有好多黑色颗粒在显微镜下看见，大多都是突起的
赞一下 回复此楼
3楼2018-04-15 21:54:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
最好简单介绍一下工艺，比如靶材、电源、气压、基体材料等，如果有图片最好也上一下。

可能的原因可能是：
1. 腔体不干净带来的粉尘
2. 靶材不致密造成的膜层疏松、靶材杂质？
3. 电源类型不匹配导致的启弧arc
4. 如果你是反应溅射，还可能是氧化不彻底等等

你可以参考下
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
4楼2018-04-16 14:28:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

L小懒虫

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-04-16 14:28:42
最好简单介绍一下工艺，比如靶材、电源、气压、基体材料等，如果有图片最好也上一下。

可能的原因可能是：
1. 腔体不干净带来的粉尘
2. 靶材不致密造成的膜层疏松、靶材杂质？
3. 电源类型不匹配导致的启弧ar ...

你好，请问起弧arc是？

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
5楼2018-05-04 06:15:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 ykbingo 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 计算机22408 281分，求调剂 +7 17715607211 2026-04-06 7/350 2026-04-12 00:43 by xuxiang
[考研] 299求调剂 +8 ZVVZ13 2026-04-08 8/400 2026-04-12 00:40 by 蓝云思雨
[考研] 26自然地理学303分求调剂 +6 一战成硕啊啊啊� 2026-04-06 11/550 2026-04-11 21:27 by 裴宏伟
[考研] 农学0904 312求调剂 +3 Say Never 2026-04-11 3/150 2026-04-11 17:22 by daydayup2005
[考研] 一志愿哈工大 085600 277 12材科基求调剂 5+5 chenny174 2026-04-10 23/1150 2026-04-11 10:43 by Delta2012
[考研] 0854求调剂 +7 assdll 2026-04-05 7/350 2026-04-11 10:34 by Delta2012
[考研] 考研调剂 +26 硕星赴 2026-04-09 27/1350 2026-04-10 22:24 by 猪会飞
[考研] 273求调剂 +51 麦小叮当 2026-04-06 58/2900 2026-04-10 15:54 by jiajinhpu
[考研] 已调剂 +18 柴郡猫_ 2026-04-09 19/950 2026-04-09 22:10 by 柴郡猫_
[考研] 生物学调剂，一志愿西南大学348，Top期刊一区二作、二区三作，三等奖学金三次 +4 candyyyi 2026-04-09 4/200 2026-04-09 18:39 by l_paradox
[考研] 367求调剂 +10 hffQAQ 2026-04-09 10/500 2026-04-09 18:06 by lijunpoly
[考研] 复试调剂，一志愿郑州大学材料与化工289分 +31 硕星赴 2026-04-08 31/1550 2026-04-09 16:54 by Delta2012
[考研] 化学工程与技术专业一志愿哈工程 291分B区 国家级大创负责人 有一作论文 +13 Emmy~ 2026-04-09 13/650 2026-04-09 14:47 by only周
[考研] 1U盾记得记得就 +9 sanjin020722 2026-04-08 10/500 2026-04-09 14:11 by 诗与自由
[考研] 机械专硕273请求调剂 +6 庚申壬申 2026-04-07 6/300 2026-04-08 22:41 by bljnqdcc
[考研] 331求调剂 +5 luoxin0706. 2026-04-08 5/250 2026-04-08 22:15 by zhouyuwinner
[考研] 11408 325分 +3 jgtxuxgkx 2026-04-07 3/150 2026-04-07 23:10 by lbsjt
[考研] 调剂 +4 mcbbc 2026-04-06 5/250 2026-04-07 12:33 by upczlm1989
[考研] 材料调剂 +5 小刘同学吖吖 2026-04-06 5/250 2026-04-06 18:34 by sherry_1901
[考研] 求调剂 +10 chenxrlkx 2026-04-05 10/500 2026-04-06 11:31 by 猪会飞
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭