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zwluojia

银虫 (正式写手)

[交流] 【请教】关于XRD的问题【有效日期至2009年3月26日】

请问用XRD能检测出比较薄的膜的晶型结构吗?厚度小于1μ的薄膜
本人所作的薄膜为用溶胶凝胶法制备的TiO2薄膜,现在需要进行晶型结构分析,用XRD能行吗?要是不行,可用什么检测手段呢?
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westyouday

铁杆木虫 (正式写手)


ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 3-19 10:39
应该可以的,以前我师姐用磁控溅射做在石英玻璃上的膜最厚的也才500nm,XRD图也是很漂亮的,没怎么看到噪音。
4楼2009-03-18 22:31:30
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surfer813


ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 3-19 10:38
引用回帖:
Originally posted by zwluojia at 2009-3-18 20:45:
请问用XRD能检测出比较薄的膜的晶型结构吗?厚度小于1μ的薄膜
本人所作的薄膜为用溶胶凝胶法制备的TiO2薄膜,现在需要进行晶型结构分析,用XRD能行吗?要是不行,可用什么检测手段呢?

可以将薄膜铺展在玻璃片上,然后进行XRD检测,应该是可以的。如果一层不行的话就铺厚一点。
2楼2009-03-18 22:12:30
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cattleox0422

金虫 (正式写手)


ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 3-19 10:38
应该是可以的,测试的时候使用薄膜扫描方式,不要用一般的测试的方法,一般的可能噪音比较大,信号不好。实在不行,就用机械可能的最慢的扫描程序,扫描的越慢,结果越可靠
3楼2009-03-18 22:27:59
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wbug

新虫 (初入文坛)


ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 3-19 10:39
可以测的,掠射角选尽量小~~
5楼2009-03-18 22:34:25
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