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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】关于XRD的问题【有效日期至2009年3月26日】
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zwluojia

银虫 (正式写手)

[交流] 【请教】关于XRD的问题【有效日期至2009年3月26日】

请问用XRD能检测出比较薄的膜的晶型结构吗？厚度小于1μ的薄膜
本人所作的薄膜为用溶胶凝胶法制备的TiO2薄膜，现在需要进行晶型结构分析，用XRD能行吗？要是不行，可用什么检测手段呢？
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1楼 2009-03-18 20:45:19
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westyouday

铁杆木虫 (正式写手)
★
ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 3-19 10:39
应该可以的，以前我师姐用磁控溅射做在石英玻璃上的膜最厚的也才500nm，XRD图也是很漂亮的，没怎么看到噪音。
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4楼2009-03-18 22:31:30
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surfer813

★
ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 3-19 10:38
引用回帖:
Originally posted by zwluojia at 2009-3-18 20:45:
请问用XRD能检测出比较薄的膜的晶型结构吗？厚度小于1μ的薄膜
本人所作的薄膜为用溶胶凝胶法制备的TiO2薄膜，现在需要进行晶型结构分析，用XRD能行吗？要是不行，可用什么检测手段呢？

可以将薄膜铺展在玻璃片上，然后进行XRD检测，应该是可以的。如果一层不行的话就铺厚一点。
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2楼2009-03-18 22:12:30
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cattleox0422

金虫 (正式写手)
★
ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 3-19 10:38
应该是可以的，测试的时候使用薄膜扫描方式，不要用一般的测试的方法，一般的可能噪音比较大，信号不好。实在不行，就用机械可能的最慢的扫描程序，扫描的越慢，结果越可靠
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3楼2009-03-18 22:27:59
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wbug

新虫 (初入文坛)
★
ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 3-19 10:39
可以测的，掠射角选尽量小～～
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5楼2009-03-18 22:34:25
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