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Lanbert2017

新虫 (初入文坛)

[求助] 抛光印子 已有1人参与

在对碳化硅陶瓷用平面抛光机进行镜面抛光后,工件上经常留下盘子印,这是怎么回事?如何能解决?

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化拥天下

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

按你的描述应该是取片后清洗不及时造成的,有2种选择,1是取片时用水枪冲洗,然后配上清洗剂超声清洗,这样的话对CMP机台操作人员要求比较高,;第二种就是工业化常规化的,在抛光完后选择关闭slurry,用DI水抛30s或者1min,这样的好处就是对取片速度要求不高,坏处就是Ra值会有微量的提升,划伤率有可能会有点微量的提升
7楼2018-04-08 08:54:41
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chensan19

新虫 (正式写手)

2楼2018-04-05 22:12:38
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Lanbert2017

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by chensan19 at 2018-04-05 22:12:38
换目数大的抛

研磨剂太细或者抛光盘齿太宽了吗?

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3楼2018-04-05 22:29:15
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chensan19

新虫 (正式写手)

抛光盘有照片吗?抛光机

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4楼2018-04-06 07:35:01
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