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[求助] 抛光印子已有1人参与

在对碳化硅陶瓷用平面抛光机进行镜面抛光后，工件上经常留下盘子印，这是怎么回事？如何能解决？

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1楼 2018-04-05 21:58:26

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换目数大的抛

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2楼2018-04-05 22:12:38

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Lanbert2017

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2楼: Originally posted by chensan19 at 2018-04-05 22:12:38
换目数大的抛

研磨剂太细或者抛光盘齿太宽了吗？

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3楼2018-04-05 22:29:15

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抛光盘有照片吗？抛光机

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4楼2018-04-06 07:35:01

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4楼: Originally posted by chensan19 at 2018-04-06 07:35:01
抛光盘有照片吗？抛光机

抛光剂太粗

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5楼2018-04-06 07:36:04

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感谢参与，应助指数 +1

按你的描述应该是取片后清洗不及时造成的，有2种选择，1是取片时用水枪冲洗，然后配上清洗剂超声清洗，这样的话对CMP机台操作人员要求比较高，；第二种就是工业化常规化的，在抛光完后选择关闭slurry，用DI水抛30s或者1min，这样的好处就是对取片速度要求不高，坏处就是Ra值会有微量的提升，划伤率有可能会有点微量的提升

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6楼2018-04-08 08:50:29

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7楼2018-04-08 08:54:41

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