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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 成型加工 » 抛光印子
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Lanbert2017

新虫 (初入文坛)

[求助] 抛光印子 已有1人参与

在对碳化硅陶瓷用平面抛光机进行镜面抛光后，工件上经常留下盘子印，这是怎么回事？如何能解决？

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1楼 2018-04-05 21:58:26
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chensan19

新虫 (正式写手)
换目数大的抛

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2楼2018-04-05 22:12:38
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Lanbert2017

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by chensan19 at 2018-04-05 22:12:38
换目数大的抛

研磨剂太细或者抛光盘齿太宽了吗？

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3楼2018-04-05 22:29:15
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chensan19

新虫 (正式写手)
抛光盘有照片吗？抛光机

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4楼2018-04-06 07:35:01
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chensan19

新虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by chensan19 at 2018-04-06 07:35:01
抛光盘有照片吗？抛光机

抛光剂太粗

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5楼2018-04-06 07:36:04
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化拥天下

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
按你的描述应该是取片后清洗不及时造成的，有2种选择，1是取片时用水枪冲洗，然后配上清洗剂超声清洗，这样的话对CMP机台操作人员要求比较高，；第二种就是工业化常规化的，在抛光完后选择关闭slurry，用DI水抛30s或者1min，这样的好处就是对取片速度要求不高，坏处就是Ra值会有微量的提升，划伤率有可能会有点微量的提升
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6楼2018-04-08 08:50:29
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化拥天下

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

按你的描述应该是取片后清洗不及时造成的，有2种选择，1是取片时用水枪冲洗，然后配上清洗剂超声清洗，这样的话对CMP机台操作人员要求比较高，；第二种就是工业化常规化的，在抛光完后选择关闭slurry，用DI水抛30s或者1min，这样的好处就是对取片速度要求不高，坏处就是Ra值会有微量的提升，划伤率有可能会有点微量的提升
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7楼2018-04-08 08:54:41
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