应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 等离子刻蚀
171/1返回列表
查看: 1144  |  回复: 16
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

15190052720

新虫 (正式写手)
已领完
等离子刻蚀
领取红包 (小木虫手机app专属红包)

扫一扫，下载小木虫客户端

各位大神，请问下等离子刻蚀（Pe）和反应离子刻蚀（Rie），有什么区别吗。有资料可以学习吗？

发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2018-03-28 22:06:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

huang117365

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
PE上部电极连接RF Generator，下部电极接地，以化学反应为主，为各向同性刻蚀；RIE下部电极连接RF Generator，以离子轰击为主，为各向异性刻蚀。
赞一下(2人) 回复此楼
12楼2018-03-29 22:32:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huang117365

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
15楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2018-04-02 17:40:17
我刚接触等离子体，有没有相关方面的书籍推荐呢？
...

蒲以康翻译的《等离子体放电原理与材料处理》，网上还有蒲以康的等离子物理课程视频，也可以看一下
赞一下(2人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

强哥哥哥
16楼2018-04-02 19:11:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

15190052720

新虫 (正式写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by huang117365 at 2018-03-29 22:32:28
PE上部电极连接RF Generator，下部电极接地，以化学反应为主，为各向同性刻蚀；RIE下部电极连接RF Generator，以离子轰击为主，为各向异性刻蚀。

如同样是通入氧气，那Rie如何实现离子轰击呢。

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
13楼2018-03-30 17:00:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huang117365

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
13楼: Originally posted by 15190052720 at 2018-03-30 17:00:23
如同样是通入氧气，那Rie如何实现离子轰击呢。
...

就我所在的行业，O2主要是用来灰化光刻胶及改善刻蚀性能，不用来做主刻蚀气体。等离子体由正负离子、电子、中性原子和分子组成。在RIE模式中，施加RF后产生等离子体，在RF的作用下，质量较小的电子先到达基板表面，由于隔直流电容器的作用，电子无法流走，电子就会在基板表面形成带负电的鞘层，在鞘层的作用下，正离子沿电场方向轰击基板表面。
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

强哥哥哥
14楼2018-03-30 20:03:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

强哥哥哥

新虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
送红花一朵
引用回帖:
14楼: Originally posted by huang117365 at 2018-03-30 20:03:02
就我所在的行业，O2主要是用来灰化光刻胶及改善刻蚀性能，不用来做主刻蚀气体。等离子体由正负离子、电子、中性原子和分子组成。在RIE模式中，施加RF后产生等离子体，在RF的作用下，质量较小的电子先到达基板表面， ...

我刚接触等离子体，有没有相关方面的书籍推荐呢？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
15楼2018-04-02 17:40:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

强哥哥哥

新虫 (著名写手)
送红花一朵
引用回帖:
16楼: Originally posted by huang117365 at 2018-04-02 19:11:38
蒲以康翻译的《等离子体放电原理与材料处理》，网上还有蒲以康的等离子物理课程视频，也可以看一下...

多谢多谢

发自小木虫Android客户端
回复此楼
17楼2018-04-03 08:52:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
lty21522楼
2018-03-28 22:08   回复  
15190052720(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫Android客户端
hp36003楼
2018-03-28 22:23   回复  
15190052720(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
sr04154楼
2018-03-28 22:26   回复  
15190052720(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
wangxiaomail5楼
2018-03-28 22:29   回复  
15190052720(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫Android客户端
supermyth6楼
2018-03-28 22:30   回复  
15190052720(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
11029002207楼
2018-03-28 22:32   回复  
15190052720(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
nageshui8楼
2018-03-28 22:34   回复  
15190052720(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
zhyvip9楼
2018-03-28 22:53   回复  
15190052720(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
倾偌闲10楼
2018-03-28 23:01   回复  
15190052720(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫Android客户端
hsy00711楼
2018-03-28 23:01   回复  
15190052720(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫Android客户端
相关版块跳转 我要订阅楼主 15190052720 的主题更新
171/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 5/250 2026-08-23 07:41 by OEbVnUOu01ol
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办？ +4 简单化xn 2026-08-22 8/400 2026-08-23 07:20 by ilovexiaobin
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 5/250 2026-08-23 04:07 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 4/200 2026-08-23 04:04 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 5/250 2026-08-23 03:52 by OEbVnUOu01ol
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 7/350 2026-08-23 03:43 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 6/300 2026-08-23 03:40 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 QTy3jDtz1uLt 2026-08-21 9/450 2026-08-23 03:04 by OEbVnUOu01ol
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 3/150 2026-08-23 00:55 by OEbVnUOu01ol
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +3 zjuhero 2026-08-22 4/200 2026-08-22 20:02 by mycsru
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +16 kkkl_v 2026-08-19 17/850 2026-08-22 16:12 by 阿布Abu
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +10 kulium 2026-08-21 13/650 2026-08-21 21:58 by alongwaytogo
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧？ +4 哈哈蛤？ 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[论文投稿] 投稿咨询 +5 wwm09 2026-08-17 7/350 2026-08-21 10:11 by 期刊论文帮手
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 估计是周四 +3 archvillain 2026-08-18 3/150 2026-08-21 01:48 by jnhyjjm
[基金申请] 今天系统多次维护，明天很可能放榜！ +10 zju2000 2026-08-16 11/550 2026-08-20 20:02 by cl479861084
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭