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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 等离子刻蚀
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15190052720

新虫 (正式写手)
已领完
等离子刻蚀
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各位大神，请问下等离子刻蚀（Pe）和反应离子刻蚀（Rie），有什么区别吗。有资料可以学习吗？

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1楼 2018-03-28 22:06:18
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huang117365

银虫 (小有名气)
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PE上部电极连接RF Generator，下部电极接地，以化学反应为主，为各向同性刻蚀；RIE下部电极连接RF Generator，以离子轰击为主，为各向异性刻蚀。
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12楼2018-03-29 22:32:28
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15190052720

新虫 (正式写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by huang117365 at 2018-03-29 22:32:28
PE上部电极连接RF Generator，下部电极接地，以化学反应为主，为各向同性刻蚀；RIE下部电极连接RF Generator，以离子轰击为主，为各向异性刻蚀。

如同样是通入氧气，那Rie如何实现离子轰击呢。

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13楼2018-03-30 17:00:23
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huang117365

银虫 (小有名气)
★
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引用回帖:
13楼: Originally posted by 15190052720 at 2018-03-30 17:00:23
如同样是通入氧气，那Rie如何实现离子轰击呢。
...

就我所在的行业，O2主要是用来灰化光刻胶及改善刻蚀性能，不用来做主刻蚀气体。等离子体由正负离子、电子、中性原子和分子组成。在RIE模式中，施加RF后产生等离子体，在RF的作用下，质量较小的电子先到达基板表面，由于隔直流电容器的作用，电子无法流走，电子就会在基板表面形成带负电的鞘层，在鞘层的作用下，正离子沿电场方向轰击基板表面。
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强哥哥哥
14楼2018-03-30 20:03:02
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sr04154楼
2018-03-28 22:26   回复  
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zhyvip9楼
2018-03-28 22:53   回复  
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supermyth6楼
2018-03-28 22:30   回复  
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nageshui8楼
2018-03-28 22:34   回复  
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11029002207楼
2018-03-28 22:32   回复  
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lty21522楼
2018-03-28 22:08   回复  
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wangxiaomail5楼
2018-03-28 22:29   回复  
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hp36003楼
2018-03-28 22:23   回复  
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倾偌闲10楼
2018-03-28 23:01   回复  
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hsy00711楼
2018-03-28 23:01   回复  
15190052720(金币+1): 谢谢参与
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