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我依然的笑

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻时遇到的问题已有3人参与

向各位请教一下光刻掩膜版如何清洗
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babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by yswyx at 2018-03-06 13:11:56
如果是石英版:浓硫酸+双氧水 煮
如果是玻璃版:丙酮->酒精->IPA 超声
如果是stepper用的版:送回原厂

接触式光刻的版,如果图形比较大,可以用无尘布先用丙酮擦洗,线条细就别这么做了。

如果是玻璃材质的光刻版 浓硫酸和双氧水还能用么?看着是不反应的啊
12楼2019-07-10 09:32:30
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光刻电子

禁虫 (正式写手)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

2楼2018-02-28 14:12:50
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我依然的笑

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 光刻电子 at 2018-02-28 14:12:50
可以自己洗,也可以拿回制版单位洗。如果图省事可以拿回制版单位洗,这样比较保险。

自己清洗的话,具体的怎么做啊

发自小木虫Android客户端
3楼2018-03-01 07:25:24
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光刻电子

禁虫 (正式写手)

本帖内容被屏蔽

4楼2018-03-01 10:59:17
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