【答案】应助回帖

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金属材料论文润色/翻译怎么收费? 已经有93人回复

1楼2018-02-28 09:26:17

光刻电子

禁虫 (正式写手)

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2楼2018-02-28 14:12:50

我依然的笑

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2楼: Originally posted by 光刻电子 at 2018-02-28 14:12:50
可以自己洗，也可以拿回制版单位洗。如果图省事可以拿回制版单位洗，这样比较保险。

自己清洗的话，具体的怎么做啊

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3楼2018-03-01 07:25:24

光刻电子

禁虫 (正式写手)

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4楼2018-03-01 10:59:17

我依然的笑

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4楼: Originally posted by 光刻电子 at 2018-03-01 10:59:17
你是复印版？表面污染主要是什么？...

应该是一些光刻胶和一些粉尘吧

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5楼2018-03-01 11:08:17

研材-jiali

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丙酮异丙醇各超声10min，去离子水冲洗

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6楼2018-03-01 13:55:31

我依然的笑

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6楼: Originally posted by 研材-jiali at 2018-03-01 13:55:31
丙酮异丙醇各超声10min，去离子水冲洗

我担心超声会破坏掩膜版图案

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7楼2018-03-01 19:29:19

yswyx

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【答案】应助回帖

如果是石英版：浓硫酸+双氧水煮
如果是玻璃版：丙酮->酒精->IPA 超声
如果是stepper用的版：送回原厂

接触式光刻的版，如果图形比较大，可以用无尘布先用丙酮擦洗，线条细就别这么做了。

8楼2018-03-06 13:11:56

微笑的小鱼

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我用的都是石英和玻璃的版，先用无尘布沾上去胶液擦一下，然后喷点酒精，再冲水，吹干

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9楼2018-07-10 00:38:14

自由with奋斗

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8楼: Originally posted by yswyx at 2018-03-06 13:11:56
如果是石英版：浓硫酸+双氧水煮
如果是玻璃版：丙酮->酒精->IPA 超声
如果是stepper用的版：送回原厂

接触式光刻的版，如果图形比较大，可以用无尘布先用丙酮擦洗，线条细就别这么做了。

请问石英版的掩膜版可以超声吗？

10楼2019-05-14 12:31:32