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babyoflion金虫 (著名写手)
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请教下正性光刻胶接触式曝光时出现的undercut现象如何减弱和有效避免已有1人参与
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如下图所示，在激光直写时可以获得比较好的结构剖面，但是接触式曝光时就会出现很丑的弧形剖面，undercut现象非常明显，有老师有这方面的优化经历的么？ 不吝赐教 新年大吉大利！ undercut现象.jpg  标准.png |
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2楼2018-02-25 23:55:24
babyoflion
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jj503185037 
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6楼2018-03-04 18:46:06
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7楼2018-03-07 14:36:05
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8楼2018-03-07 14:36:31
9楼2022-07-13 12:34:01
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10楼2022-07-13 18:05:35
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