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babyoflion

金虫 (著名写手)

[求助] 请教下正性光刻胶接触式曝光时出现的undercut现象如何减弱和有效避免已有1人参与

如下图所示,在激光直写时可以获得比较好的结构剖面,但是接触式曝光时就会出现很丑的弧形剖面,undercut现象非常明显,有老师有这方面的优化经历的么?  不吝赐教 新年大吉大利!

请教下正性光刻胶接触式曝光时出现的undercut现象如何减弱和有效避免
undercut现象.jpg


请教下正性光刻胶接触式曝光时出现的undercut现象如何减弱和有效避免-1
标准.png
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潮打空城YL

新虫 (初入文坛)

楼主,最后这个问题有解决嘛?我也遇到同样问题,接触式有表层有undercut。

发自小木虫Android客户端
9楼2022-07-13 12:34:01
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