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我依然的笑

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻时遇到的问题

1 光刻掩膜版如何清洗，用丙酮超声可不可以？
2 负胶在曝光之后如何去掉，用专门的剥离液去胶效果并不是特别好
3 大家选用的正胶与负胶是哪一种，具体怎么使用，曝光与前烘后烘都用了多长时间
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1楼 2018-01-30 14:49:17
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心如

新虫 (初入文坛)
1。可以  小心就行。我们一般是丙酮擦洗  乙醇擦洗。若还有污渍，就硫酸＋双氧水煮一下吧，这样下来一半都感觉了。2，不太清楚你的工艺。3，正胶：苏州瑞红产的3038，具体那个型号还真没仔细看！前烘120°15分钟，坚膜100°15分钟。负胶 北京微电子什么公司的   前烘80°    坚膜100°

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2楼2018-01-30 23:37:14
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我依然的笑

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 心如 at 2018-01-30 23:37:14
1。可以  小心就行。我们一般是丙酮擦洗  乙醇擦洗。若还有污渍，就硫酸＋双氧水煮一下吧，这样下来一半都感觉了。2，不太清楚你的工艺。3，正胶：苏州瑞红产的3038，具体那个型号还真没仔细看！前烘120°15分钟，坚 ...

谢谢指导

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3楼2018-01-31 09:26:48
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心如

新虫 (初入文坛)
纠正一下：正胶苏州瑞红rzj-304  显影液rzx-3038；负胶是北京科华微电子的。

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4楼2018-01-31 22:26:11
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心如

新虫 (初入文坛)
那你们一般用的什么胶？大家交流一下。

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5楼2018-01-31 22:27:17
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