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tzsigouzzz

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀膜样品表面灰白问题已有2人参与

各位前辈有做磁控溅射镀CrSiN涂层的吗,最近一直遇到样品表面灰白的问题,偏压和靶功率设定也不高,求大神指点

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091820053

禁虫 (知名作家)

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2楼2018-01-10 19:40:39
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
建议多提供点信息。。。

一般CrSiN 是什么颜色呢,金属银灰色?
镀膜发白一般有:基体不干净,真空度不够(漏气或放气源),通入气体的纯度不够等,你可以设计实验一一排除。
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
3楼2018-01-10 20:17:57
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tzsigouzzz

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 091820053 at 2018-01-10 19:40:39
是不是漏气氧化了

之前做的样品打完能谱后也没有氧呀,如果漏气的话怎么检漏呢,昨天是把所有和真空室连接的地方螺丝紧了一遍

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4楼2018-01-11 00:12:59
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091820053

禁虫 (知名作家)

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5楼2018-01-15 22:08:10
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tzsigouzzz

新虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 091820053 at 2018-01-15 22:08:10
保压力...

能说的详细点吗,因为刚接触这个方向,很多东西不是太明白,谢谢了

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6楼2018-01-15 23:11:20
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091820053

禁虫 (知名作家)

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7楼2018-01-16 15:08:49
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tzsigouzzz

新虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 091820053 at 2018-01-16 15:08:49
抽真空以后,不动,看压力的变化是否很快,如果快了说明漏气严重
...

这个我试过了,关了泵以后大概是E-2左右,开始慢点,也很均匀,后面越来越快,最后一个小时漏8-10帕左右的样子

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8楼2018-01-17 11:11:05
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091820053

禁虫 (知名作家)

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9楼2018-01-17 14:58:25
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tzsigouzzz

新虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by 091820053 at 2018-01-17 14:58:25
那漏气很严重, 检查哪里哪个部位在漏气,然后修护。...

最近一直在查,没查到,用酒精查过了,示数并没有明显变化

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10楼2018-01-17 15:26:05
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