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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 磁控溅射镀膜样品表面灰白问题
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tzsigouzzz

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀膜样品表面灰白问题 已有2人参与

各位前辈有做磁控溅射镀CrSiN涂层的吗，最近一直遇到样品表面灰白的问题，偏压和靶功率设定也不高，求大神指点

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1楼 2018-01-10 19:03:34
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
2楼2018-01-10 19:40:39
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
建议多提供点信息。。。

一般CrSiN 是什么颜色呢，金属银灰色？
镀膜发白一般有：基体不干净，真空度不够（漏气或放气源），通入气体的纯度不够等，你可以设计实验一一排除。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2018-01-10 20:17:57
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普通回帖

tzsigouzzz

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 091820053 at 2018-01-10 19:40:39
是不是漏气氧化了

之前做的样品打完能谱后也没有氧呀，如果漏气的话怎么检漏呢，昨天是把所有和真空室连接的地方螺丝紧了一遍

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4楼2018-01-11 00:12:59
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091820053

禁虫 (知名作家)
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5楼2018-01-15 22:08:10
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tzsigouzzz

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 091820053 at 2018-01-15 22:08:10
保压力...

能说的详细点吗，因为刚接触这个方向，很多东西不是太明白，谢谢了

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6楼2018-01-15 23:11:20
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091820053

禁虫 (知名作家)
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7楼2018-01-16 15:08:49
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tzsigouzzz

新虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 091820053 at 2018-01-16 15:08:49
抽真空以后，不动，看压力的变化是否很快，如果快了说明漏气严重
...

这个我试过了，关了泵以后大概是E-2左右，开始慢点，也很均匀，后面越来越快，最后一个小时漏8-10帕左右的样子

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8楼2018-01-17 11:11:05
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091820053

禁虫 (知名作家)
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9楼2018-01-17 14:58:25
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tzsigouzzz

新虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 091820053 at 2018-01-17 14:58:25
那漏气很严重， 检查哪里哪个部位在漏气，然后修护。...

最近一直在查，没查到，用酒精查过了，示数并没有明显变化

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10楼2018-01-17 15:26:05
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