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fanmengya

新虫 (初入文坛)

[交流] 求助,测试掠入射xrd 已有2人参与

样品为氧化钒55nm,每次用xrd测试结果都有不同,峰比较弱,想咨询如果用掠入射测试,结果会好一些吗?求助,谢谢!

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gyliu

铁杆木虫 (职业作家)


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掠入射是针对薄膜的,如果是粉末,没必要,可以增加数据收集时间。55nm,纳米级了,衍射峰会有点宽化。
2楼2018-01-09 11:17:19
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juloong

木虫 (职业作家)

X射线衍/散射测试


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楼上回答是对的,可以用大功率转靶xrd或者增加积分时间来解决

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3楼2018-01-09 11:19:35
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fanmengya

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by juloong at 2018-01-09 11:19:35
楼上回答是对的,可以用大功率转靶xrd或者增加积分时间来解决

是薄膜,是如何通过增加功率的方法做到呢?就是用普通的xrd来增加吗?因为刚开始做不是特别懂

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4楼2018-01-09 14:57:56
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fanmengya

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gyliu at 2018-01-09 11:17:19
掠入射是针对薄膜的,如果是粉末,没必要,可以增加数据收集时间。55nm,纳米级了,衍射峰会有点宽化。

是薄膜,因为普通xrd做出来效果不是很好,峰不是很强,而且有时候做不出来,所以想来问一下做掠入射会不会更好一些…谢谢!!

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5楼2018-01-09 14:59:40
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gyliu

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by fanmengya at 2018-01-09 14:57:56
是薄膜,是如何通过增加功率的方法做到呢?就是用普通的xrd来增加吗?因为刚开始做不是特别懂
...

那最好用掠入射,平行光路
6楼2018-01-09 15:01:40
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juloong

木虫 (职业作家)

X射线衍/散射测试


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by fanmengya at 2018-01-09 14:57:56
是薄膜,是如何通过增加功率的方法做到呢?就是用普通的xrd来增加吗?因为刚开始做不是特别懂
...

对于固定靶xrd来说,只能通过增加积分时间来提高信号强度。如果是转靶xrd的话,一般情况工作工作时的负荷不会满功率,除了增加积分时间外,还可以进一步提高功率来提高信号强度。

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7楼2018-01-09 15:01:49
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juloong

木虫 (职业作家)

X射线衍/散射测试

当然,多晶薄膜最好使用掠入射

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8楼2018-01-09 15:02:58
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fanmengya

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by juloong at 2018-01-09 15:01:49
对于固定靶xrd来说,只能通过增加积分时间来提高信号强度。如果是转靶xrd的话,一般情况工作工作时的负荷不会满功率,除了增加积分时间外,还可以进一步提高功率来提高信号强度。
...

就是最终我用普通xrd测试出来的结果有时候就不一样,而且有时候就出不来信号峰,或者比较弱,所以我想请教下你,就是做掠入射会不会有很大帮助?

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9楼2018-01-09 15:04:29
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fanmengya

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by juloong at 2018-01-09 15:02:58
当然,多晶薄膜最好使用掠入射

用sem观察是那种比较小的晶粒,

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10楼2018-01-09 15:05:21
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