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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 关于磁控溅射做Ti膜、Pt膜、SiO2膜，大家有推荐的书籍或资料吗？
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天行健08

铜虫 (小有名气)

[交流] 关于磁控溅射做Ti膜、Pt膜、SiO2膜，大家有推荐的书籍或资料吗？

虫友们，关于磁控溅射做Ti膜、Pt膜、SiO2膜，大家有推荐的书籍或资料吗？想了解一下这几种膜的特点
万分感谢。
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1楼 2018-01-08 10:41:35
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)
钛膜与氧化硅膜很常见。白金膜很难见到，原料超级贵啊

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20楼2018-01-08 12:30:09
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天行健08

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
20楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-01-08 12:30:09
钛膜与氧化硅膜很常见。白金膜很难见到，原料超级贵啊

主要是想找一下资料看一下，了解更多。
白金膜我们有在做，靶材是超级贵
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24楼2018-01-10 09:16:34
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xu123wentao

木虫 (著名写手)
我感觉看杨邦朝的《薄膜物理与技术》就行了……楼主是打算深究什么方面呢？

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25楼2018-02-10 22:59:27
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个没什么特殊的，金属直流溅射，绝缘交流。可以文章合作，免费给你做

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27楼2018-02-12 10:05:36
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虫虫很孤独2楼
2018-01-08 10:49   回复  
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凤妹6月3楼
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远方的游子6124楼
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敏敏的爸5楼
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假大空6楼
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tzynew7楼
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超级老快8楼
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nono20099楼
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hongyingwu10楼
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gengxin6011楼
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dongmings12楼
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敏敏的妈13楼
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qdnyh06014楼
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tfnnkh00615楼
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caoquanrang16楼
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caxfadu1418楼
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lywzd1619楼
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ntyhvt6721楼
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youngen22楼
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