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关于磁控溅射做Ti膜、Pt膜、SiO2膜，大家有推荐的书籍或资料吗？
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虫友们，关于磁控溅射做Ti膜、Pt膜、SiO2膜，大家有推荐的书籍或资料吗？想了解一下这几种膜的特点 万分感谢。 |
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