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天行健08

铜虫 (小有名气)


[交流] 关于磁控溅射做Ti膜、Pt膜、SiO2膜,大家有推荐的书籍或资料吗?

虫友们,关于磁控溅射做Ti膜、Pt膜、SiO2膜,大家有推荐的书籍或资料吗?想了解一下这几种膜的特点
万分感谢。
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xu123wentao

木虫 (著名写手)


我感觉看杨邦朝的《薄膜物理与技术》就行了……楼主是打算深究什么方面呢?

发自小木虫Android客户端
25楼2018-02-10 22:59:27
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2018-01-08 10:49   回复  
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2018-01-08 10:56   回复  
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dongmings12楼
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2018-01-08 11:43   回复  
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