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天行健08

铜虫 (小有名气)

[交流] 关于磁控溅射做Ti膜、Pt膜、SiO2膜，大家有推荐的书籍或资料吗？

虫友们，关于磁控溅射做Ti膜、Pt膜、SiO2膜，大家有推荐的书籍或资料吗？想了解一下这几种膜的特点
万分感谢。
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1楼2018-01-08 10:41:35
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xu123wentao

木虫 (著名写手)
我感觉看杨邦朝的《薄膜物理与技术》就行了……楼主是打算深究什么方面呢？

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25楼2018-02-10 22:59:27
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虫虫很孤独2楼
2018-01-08 10:49   回复  
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凤妹6月3楼
2018-01-08 10:56   回复  
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远方的游子6124楼
2018-01-08 11:05   回复  
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敏敏的爸5楼
2018-01-08 11:10   回复  
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超级老快8楼
2018-01-08 11:17   回复  
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dongmings12楼
2018-01-08 11:33   回复  
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敏敏的妈13楼
2018-01-08 11:43   回复  
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