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天行健08

铜虫 (小有名气)


[交流] 关于磁控溅射做Ti膜、Pt膜、SiO2膜,大家有推荐的书籍或资料吗?

虫友们,关于磁控溅射做Ti膜、Pt膜、SiO2膜,大家有推荐的书籍或资料吗?想了解一下这几种膜的特点
万分感谢。
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天行健08

铜虫 (小有名气)


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20楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-01-08 12:30:09
钛膜与氧化硅膜很常见。白金膜很难见到,原料超级贵啊

主要是想找一下资料看一下,了解更多。
白金膜我们有在做,靶材是超级贵
24楼2018-01-10 09:16:34
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2018-01-08 10:49   回复  
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2018-01-08 10:56   回复  
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2018-01-08 11:05   回复  
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dongmings12楼
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