| 查看: 2926 | 回复: 3 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
[求助]
本人在磁控溅射上镀ZnS，射频，不能起辉。用砂纸轻轻打磨靶材表面，还是不起辉？ 已有3人参与
|
||||
| 本人在磁控溅射上镀ZnS，射频，上次能起辉，这次不能起辉。去除，用砂纸轻轻打磨表面，还是不起辉？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 | 磁控溅射镀膜工艺 |
» 猜你喜欢
东南大学能源与环境学院-林日琛教授课题组-27级博士招生
已经有108人回复
-
东南大学能源与环境学院-林日琛教授课题组-27级博士招生
已经有103人回复
-
电气科学与工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有129人回复
-
东南大学能源与环境学院-林日琛教授课题组-27级博士招生
已经有103人回复
-
国防科技大学喷雾燃烧与低温推进导师组2027 年博士生及硕士生招生
已经有1人回复
-
国防科技大学喷雾燃烧与低温推进导师组2027 年博士生及硕士生招生
已经有1人回复
-
哈尔滨工程大学动力学院赵建辉团队招收2027级博士研究生
已经有5人回复
-
生物质转化方向博士招生
已经有0人回复
-
青C基金意见评审
已经有21人回复
-
因实验需要购买原油样品
已经有0人回复
pvdmaterial
新虫 (小有名气)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 269.7
- 散金: 43
- 红花: 3
- 帖子: 260
- 在线: 41.6小时
- 虫号: 4255749
- 注册: 2015-11-30
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2018-01-05 10:56:01
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- GEPI: 3
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 146643
- 红花: 1374
- 帖子: 93091
- 在线: 7695.2小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
【答案】应助回帖
★
感谢参与，应助指数 +1
1351459515(20091783代发): 金币+1 2018-04-26 21:35:29
感谢参与，应助指数 +1
1351459515(20091783代发): 金币+1 2018-04-26 21:35:29
| 这似乎是靶材发生中毒了吧。看看这个链接有无参考价值：https://wenku.baidu.com/view/2e8bbc2e7e21af45b207a816.html。 |
2楼2018-01-02 09:03:31
【答案】应助回帖
★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
1351459515(20091783代发): 金币+3 2018-04-26 21:35:35
感谢参与，应助指数 +1
1351459515(20091783代发): 金币+3 2018-04-26 21:35:35
|
ZnS没有溅射过，但是溅射过CdS 值得注意的是硫化物靶材和氧化物靶材有很大的不同。 硫化物的致密度以及结晶性都不高，而氧化物可以类似陶瓷。这方面的区别会导致离子轰击过程中会产生离子注入的情况，也就是有效撞击并不多，二次电子不多，所以辉光很容易不够亮。（建议采用下述3） 1. 上次射频溅射的参数有没有，功率和自偏压，以及气压和何种气源； 2. ZnS靶材，采用射频溅射一般不存在靶材中毒的情况（排除）；但是表面成分可能会随着溅射发生变化，所以打磨也是对的。 3. 怀疑上次溅射的条件比较极限，你可以尝试将气压提高到1~2pa，先启辉预溅射3分钟，然后再将气压降低到你所需要的值。随时关注辉光变化。当辉光暗到一定程度就不能维持了。 以上。 |
3楼2018-01-02 10:04:45
