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新虫 (初入文坛)

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[求助] 本人在磁控溅射上镀ZnS，射频，不能起辉。用砂纸轻轻打磨靶材表面，还是不起辉？已有3人参与

本人在磁控溅射上镀ZnS，射频，上次能起辉，这次不能起辉。去除，用砂纸轻轻打磨表面，还是不起辉？

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薄膜制备与特性

磁控溅射镀膜工艺

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1楼 2017-12-31 18:51:08

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

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1351459515(20091783代发): 金币+1 2018-04-26 21:35:29

这似乎是靶材发生中毒了吧。看看这个链接有无参考价值：https://wenku.baidu.com/view/2e8bbc2e7e21af45b207a816.html。

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2楼2018-01-02 09:03:31

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野人禾禾

金虫 (正式写手)

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1351459515(20091783代发): 金币+3 2018-04-26 21:35:35

ZnS没有溅射过，但是溅射过CdS

值得注意的是硫化物靶材和氧化物靶材有很大的不同。
硫化物的致密度以及结晶性都不高，而氧化物可以类似陶瓷。这方面的区别会导致离子轰击过程中会产生离子注入的情况，也就是有效撞击并不多，二次电子不多，所以辉光很容易不够亮。（建议采用下述3）

1. 上次射频溅射的参数有没有，功率和自偏压，以及气压和何种气源；
2. ZnS靶材，采用射频溅射一般不存在靶材中毒的情况（排除）；但是表面成分可能会随着溅射发生变化，所以打磨也是对的。
3. 怀疑上次溅射的条件比较极限，你可以尝试将气压提高到1~2pa，先启辉预溅射3分钟，然后再将气压降低到你所需要的值。随时关注辉光变化。当辉光暗到一定程度就不能维持了。

以上。

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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119