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[求助]PLD镀膜后处理问题
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我用PLD在SiO2衬底上镀膜，然后样品在管式炉400度退火2h，靶材是WO3和In2O3的混合材料，图上面片子是退火前，下面是退火后，为什么退火后会这样啊？而且一组样同时退火，有时会出现一两个样这样，其他样都没事。![[求助]PLD镀膜后处理问题](https://muchongimg.xmcimg.com/data/bcs/2017/1218/bw133h5108816_1513599482_963.jpg#opennewwindow) 发自小木虫Android客户端 |
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3楼2017-12-18 23:46:19
m452193160
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
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- 专业: 半导体材料
2楼2017-12-18 22:50:44