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zerofox

新虫 (初入文坛)

[交流] [求助]PLD镀膜后处理问题

我用PLD在SiO2衬底上镀膜,然后样品在管式炉400度退火2h,靶材是WO3和In2O3的混合材料,图上面片子是退火前,下面是退火后,为什么退火后会这样啊?而且一组样同时退火,有时会出现一两个样这样,其他样都没事。

[求助]PLD镀膜后处理问题


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m452193160

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
估计跟基地有关,基底是石英?还是普通玻璃?

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2楼2017-12-18 22:50:44
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zerofox

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by m452193160 at 2017-12-18 22:50:44
估计跟基地有关,基底是石英?还是普通玻璃?

基底二氧化硅啊,而且一组4到5个样一起退火,就一两个会这样,其他都没事,真是怪

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3楼2017-12-18 23:46:19
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