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[求助]PLD镀膜后处理问题
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我用PLD在SiO2衬底上镀膜,然后样品在管式炉400度退火2h,靶材是WO3和In2O3的混合材料,图上面片子是退火前,下面是退火后,为什么退火后会这样啊?而且一组样同时退火,有时会出现一两个样这样,其他样都没事。 发自小木虫Android客户端 |
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