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magnoliadou

新虫 (小有名气)

[交流] 如何增强旋涂在石英晶片上的pdms与晶片基底间的粘合度

石英晶片的qcm应用 我希望在圆形石英晶片上旋涂一层pdms后去掉中心的pdms 剩余的pdms环柱体作为测量腔支撑壁 高度为80微米左右 径为0.8mm左右 在其上再键合玻璃作为上盖 但制程中发现旋涂后pdms在石英晶片上贴合不紧易脱落 这样在测量时通入溶液会有漏液问题。。因此想请教应该如何增加旋涂的pdms与石英基底的粘合程度使旋涂后较为紧密~谢谢~

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dhu_hth

金虫 (小有名气)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by magnoliadou at 2017-12-15 16:59:52
顶~

楼主,我也遇到PDMS dewetting的情况,应该是一样的,你的问题解决了吗?

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6楼2018-01-10 12:28:01
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13073650296

新虫 (正式写手)


★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
有些材质本身对其粘接力就不够,最好在旋涂前喷点底涂,增强粘接力

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» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2017-12-05 22:44:06
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magnoliadou

新虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 13073650296 at 2017-12-05 22:44:06
有些材质本身对其粘接力就不够,最好在旋涂前喷点底涂,增强粘接力

谢谢您~可以请教一下这样增强粘结力的底涂有什么吗~

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3楼2017-12-06 14:17:52
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13073650296

新虫 (正式写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by magnoliadou at 2017-12-06 14:17:52
谢谢您~可以请教一下这样增强粘结力的底涂有什么吗~
...

可以试试偶联剂

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4楼2017-12-06 21:55:53
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