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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 跨学科应用 » 如何增强旋涂在石英晶片上的pdms与晶片基底间的粘合度
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magnoliadou

新虫 (小有名气)

[交流] 如何增强旋涂在石英晶片上的pdms与晶片基底间的粘合度

石英晶片的qcm应用 我希望在圆形石英晶片上旋涂一层pdms后去掉中心的pdms 剩余的pdms环柱体作为测量腔支撑壁 高度为80微米左右 径为0.8mm左右 在其上再键合玻璃作为上盖 但制程中发现旋涂后pdms在石英晶片上贴合不紧易脱落 这样在测量时通入溶液会有漏液问题。。因此想请教应该如何增加旋涂的pdms与石英基底的粘合程度使旋涂后较为紧密~谢谢~

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1楼 2017-12-05 17:26:44
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13073650296

新虫 (正式写手)
★
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有些材质本身对其粘接力就不够，最好在旋涂前喷点底涂，增强粘接力

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magnoliadou
2楼2017-12-05 22:44:06
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magnoliadou

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 13073650296 at 2017-12-05 22:44:06
有些材质本身对其粘接力就不够，最好在旋涂前喷点底涂，增强粘接力

谢谢您~可以请教一下这样增强粘结力的底涂有什么吗~

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3楼2017-12-06 14:17:52
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13073650296

新虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by magnoliadou at 2017-12-06 14:17:52
谢谢您~可以请教一下这样增强粘结力的底涂有什么吗~
...

可以试试偶联剂

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4楼2017-12-06 21:55:53
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magnoliadou

新虫 (小有名气)
顶~

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5楼2017-12-15 16:59:52
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dhu_hth

金虫 (小有名气)
★
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5楼: Originally posted by magnoliadou at 2017-12-15 16:59:52
顶~

楼主，我也遇到PDMS dewetting的情况，应该是一样的，你的问题解决了吗？
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magnoliadou
6楼2018-01-10 12:28:01
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magnoliadou

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by dhu_hth at 2018-01-10 12:28:01
楼主，我也遇到PDMS dewetting的情况，应该是一样的，你的问题解决了吗？...

您好~是一样的问题吗？我是有增加等离子清洗的时间。。什么是pdms dewetting呢?

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7楼2018-01-10 15:19:47
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