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magnoliadou新虫 (小有名气)
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[交流]
如何增强旋涂在石英晶片上的pdms与晶片基底间的粘合度
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石英晶片的qcm应用 我希望在圆形石英晶片上旋涂一层pdms后去掉中心的pdms 剩余的pdms环柱体作为测量腔支撑壁 高度为80微米左右 径为0.8mm左右 在其上再键合玻璃作为上盖 但制程中发现旋涂后pdms在石英晶片上贴合不紧易脱落 这样在测量时通入溶液会有漏液问题。。因此想请教应该如何增加旋涂的pdms与石英基底的粘合程度使旋涂后较为紧密~谢谢~ 发自小木虫Android客户端 |
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