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backspace211

新虫 (小有名气)

[求助] 关于薄膜厚度表征已有3人参与

请问哪位大神有经验做过薄膜厚度的表征,材料表面有轻微褶皱,做SEM的话能量打上去就化了,很难拍断面,厚度大概1uM,测AFM的话,会不会因为表面平整度不高,有影响。第一次做薄膜,求指导啊,顺便问一下有没有什么简单的办法测透光率。
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
像薄膜厚度的测量一般可以采用椭偏仪进行吧。
椭偏仪测量薄膜厚度和折射率讲义:https://wenku.baidu.com/view/2359ee64b7360b4c2f3f6422.html
5楼2017-11-25 14:21:47
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剑走天涯

铁杆木虫 (著名写手)

2楼2017-11-23 10:55:50
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backspace211

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 剑走天涯 at 2017-11-23 10:55:50
试下台阶仪测试

台阶仪对表面平整度要求高吗
3楼2017-11-24 17:17:52
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剑走天涯

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by backspace211 at 2017-11-24 17:17:52
台阶仪对表面平整度要求高吗...

还好吧

发自小木虫Android客户端
4楼2017-11-24 17:44:47
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