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backspace211新虫 (小有名气)
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关于薄膜厚度表征 已有3人参与
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| 请问哪位大神有经验做过薄膜厚度的表征，材料表面有轻微褶皱，做SEM的话能量打上去就化了，很难拍断面，厚度大概1uM，测AFM的话，会不会因为表面平整度不高，有影响。第一次做薄膜，求指导啊，顺便问一下有没有什么简单的办法测透光率。 |
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【答案】应助回帖
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像薄膜厚度的测量一般可以采用椭偏仪进行吧。 椭偏仪测量薄膜厚度和折射率讲义：https://wenku.baidu.com/view/2359ee64b7360b4c2f3f6422.html |
5楼2017-11-25 14:21:47
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