应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 射频溅射NiO薄膜速率太慢，可不可以分次生长较厚薄膜
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
61/1返回列表
查看: 978  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

conpepapro

新虫 (小有名气)

[交流] 射频溅射NiO薄膜速率太慢，可不可以分次生长较厚薄膜 已有3人参与

射频溅射NiO薄膜，30min只生长了9nm，但是射频溅射不适合过长的时间，可不可以长30分钟挺10钟再长30分钟。这样薄膜的均匀性会有影响吗？

另外，同样的功率气压的条件下，只是换了一次靶，速率降到只有原来的三分之一，唯一的区别就是靶材多裂了一小块。

请问下谁能帮忙解决上面的两个问题，谢谢啦！

[ Last edited by conpepapro on 2017-11-23 at 10:00 ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射镀膜工艺

» 猜你喜欢
1楼 2017-11-23 09:30:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你需要更详细的说明下工艺，才能判断你的问题。

1. 靶材采用的是金属靶Ni，还是陶瓷靶？
2. 工艺条件是什么样的？多少功率，多少气氛，多少气压？有无加温？靶材尺寸等
3. 你的问题只有一个呀？你问均匀性，那回答就是 均匀性影响不大，如果要求性能，最好每次都注意预溅射。
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2017-11-24 18:01:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

091820053

禁虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
3楼2018-01-19 19:58:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

晚街听雨

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 091820053 at 2018-01-19 19:58:08
你好，我们这边也能做镀膜，加一下呢

你好  我也是做薄膜的
赞一下 回复此楼
学习者
4楼2018-05-15 20:55:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

晚街听雨

新虫 (小有名气)
想问一下楼主，你们做NiO薄膜的电性的时候用什么做电极啊
赞一下 回复此楼
学习者
5楼2018-05-15 20:56:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

晚街听雨

新虫 (小有名气)
你好，可以互粉一下吗，交流一下做薄膜的经验
赞一下 回复此楼
学习者
6楼2018-05-15 20:56:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 conpepapro 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 求调剂 +3 月@163.com 2026-04-07 3/150 2026-04-07 11:19 by aidndnjck
[考研] 求调剂 +23 111623 2026-04-04 25/1250 2026-04-07 11:16 by 诗与自由
[考研] 085600，321分求调剂 +14 大馋小子 2026-04-04 15/750 2026-04-06 22:58 by qlm5820
[考研] 生物学学硕求调剂：351分一志愿南京师范大学生物学专业 +6 …～、王…～ 2026-04-06 7/350 2026-04-06 18:54 by macy2011
[考研] 22408 331分求调剂 +4 y__1 2026-04-06 4/200 2026-04-06 17:26 by 土木硕士招生
[考研] 281求调剂 +8 椰子蘑菇 2026-04-06 8/400 2026-04-06 10:38 by 蓝云思雨
[考研] 化学0703-一志愿211-338分求调剂 +8 vants 2026-04-05 8/400 2026-04-06 06:17 by houyaoxu
[考研] 电子信息调剂交叉学科有推荐吗 +6 jhtfeybgj 2026-04-01 9/450 2026-04-05 11:13 by 猪会飞
[考研] 本科211 分数293请求调剂 +4 莲菜就是藕吧 2026-04-01 4/200 2026-04-04 22:32 by hemengdong
[考研] 291求调剂 +4 迷蒙木木 2026-04-01 5/250 2026-04-04 15:59 by sihailian3
[考研] 求调剂 +4 压力??大 2026-04-03 4/200 2026-04-03 21:36 by 啵啵啵0119
[考研] 求调剂机会 +5 意染ivy 2026-04-03 5/250 2026-04-03 15:13 by qoooooo614
[考研] 274求调剂 +9 顺理成张 2026-04-03 10/500 2026-04-03 15:10 by 啊俊！
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +5 崔wj 2026-04-03 5/250 2026-04-03 15:06 by arrow8852
[考研] 326分求调剂 +3 于是乎呢 2026-04-01 5/250 2026-04-03 14:23 by 于是乎呢
[考研] 专硕085601求调剂 +7 suyifei 2026-04-03 8/400 2026-04-03 14:00 by 欣喜777
[考研] 一志愿武汉理工0856，初试334 +3 26考研材料 2026-04-02 3/150 2026-04-02 21:22 by dongzh2009
[考研] 一志愿北京科技大学085601材料工程英一数二初试总分335求调剂 +9 双马尾痞老板2 2026-04-01 9/450 2026-04-02 12:14 by oooqiao
[考研] 求调剂0703 +5 周嘉尧 2026-03-31 8/400 2026-04-01 20:32 by ltltkkk
[考研] 一志愿 南京航空航天大学 ，080500材料科学与工程学硕 +10 @taotao 2026-03-31 11/550 2026-04-01 09:43 by xiayizhi
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭