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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 磁控溅射制备AlN薄膜能在室温下进行吗？
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zjdpanda

新虫 (初入文坛)
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磁控溅射制备AlN薄膜能在室温下进行吗？
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我们实验室的磁控没有办法控温，所以无法升温，那AlN能在室温下镀吗？其它工艺，氩氮比，功率，气压都有什么要求？

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1楼2017-11-22 09:43:26
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
试试吧，用这材料的靶。摸索工艺，也不是没有可能

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10楼2017-11-22 10:42:23
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LAnza_lw

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
温度的话，可以先放电一段时间待其温度提升，Ar的话稍微少一点
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11楼2017-11-27 10:54:02
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xiaozhenzhen4楼
2017-11-22 09:46   回复  
zjdpanda(金币+9): 谢谢参与
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hbabc2楼
2017-11-22 09:43   回复  
zjdpanda(金币+8): 谢谢参与
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pandongzi9楼
2017-11-22 09:52   回复  
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mybeike8楼
2017-11-22 09:50   回复  
zjdpanda(金币+7): 谢谢参与
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泡泡糖北京6楼
2017-11-22 09:47   回复  
zjdpanda(金币+10): 谢谢参与
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满天星laser3楼
2017-11-22 09:44   回复  
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刻羽5楼
2017-11-22 09:47   回复  
zjdpanda(金币+9): 谢谢参与
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镁橄榄石7楼
2017-11-22 09:48   回复  
zjdpanda(金币+1): 谢谢参与
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