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zjdpanda

新虫 (初入文坛)


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磁控溅射制备AlN薄膜能在室温下进行吗?
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我们实验室的磁控没有办法控温,所以无法升温,那AlN能在室温下镀吗?其它工艺,氩氮比,功率,气压都有什么要求?

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磁控溅射镀膜工艺

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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)



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试试吧,用这材料的靶。摸索工艺,也不是没有可能

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10楼2017-11-22 10:42:23
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LAnza_lw

银虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
温度的话,可以先放电一段时间待其温度提升,Ar的话稍微少一点
11楼2017-11-27 10:54:02
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hbabc2楼
2017-11-22 09:43   回复  
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刻羽5楼
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mybeike8楼
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pandongzi9楼
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