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HF,B,P,Al2O3生成黑色物质
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我们是做硅片扩散的,利用硼纸扩散完需用HF将晶片分离,在用HF泡片过程中,生成一种黑色物质附着在晶片表面,薄薄的一层但难以去除,且泡片时间越长,黑色物质越多 分析泡片溶液中的离子成分,有HF,B,P,Al2O3, SiO2, Si 等 有没有哪位大神了解,这几种物质是否能反应生成某一种黑色物质,万分感谢! |
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2楼2017-11-02 21:25:12
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yigeren89(金币+1): 谢谢参与
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3楼2017-11-03 15:12:08










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